RoboMapХарактеристики
- Грузоподъёмность
- нет данных
- Вылет
- нет данных
- Повторяемость позиционирования
- нет данных
- Масса
- нет данных
- Степень защиты
- нет данных
Характеристики из источника
Строки приведены так, как их печатает производитель: без перевода, пересчёта и сравнения.
- 晶圆转角精度
- ±0.2 °
- 晶圆纠偏精度
- ±0.1 mm
Источники
- 新松Aligner晶圆预对准装置｜超精定位与角度补偿｜半导体传输核心校正模块
страница товара; от производителя; издатель: Siasun; редакция: 2026-10-02
Где в источнике: 晶圆转角精度; 晶圆纠偏精度