Характеристики
- Масса
- Грузоподъёмность
- нет данных
- Вылет
- нет данных
- Повторяемость позиционирования
- нет данных
- Степень защиты
- нет данных
Характеристики из источника
Строки приведены так, как их печатает производитель: без перевода, пересчёта и сравнения.
- Z-axis stroke
- 70mm/140 mm
- ワーク中心搬送距離
- 835 mm ((300mmウエハの場合))
- 搬送質量
- 3.0kg/10 Nm (※リスト取り付け部(EE含む))
- 旋回直径
- 590 mm
- Utility
- 48 V (DC (motor drive), 24V DC (communication))
- 搬送精度 (X,Y)
- ±0.1 mm
- Capacity
- 3.0kg/10 Nm
- Rotation diameter
- 590 mm
- Transfer distance of substrate center
- 835 mm ((for 300mm wafer))
- Transfer accuracy (X,Y)
- ±0.1 mm
- Z軸ストローク
- 70mm/140 mm
- Operating temperature
- 80 ℃ (or less)
Источники
- RR481L230
страница товара; от производителя; издатель: RORZE Corporation; редакция: 2026-10-02
Где в источнике: 質量; ワーク中心搬送距離; 搬送質量; 旋回直径; 搬送精度 (X,Y); Z軸ストローク
- RR481L230
страница товара; от производителя; издатель: RORZE Corporation; редакция: 2026-10-02
Где в источнике: Z-axis stroke; Utility; Capacity; Rotation diameter; Transfer distance of substrate center; Transfer accuracy (X,Y); Operating temperature