Характеристики
- Грузоподъёмность
- Вылет
- нет данных
- Повторяемость позиционирования
- нет данных
- Масса
- нет данных
- Степень защиты
- нет данных
Характеристики из источника
Строки приведены так, как их печатает производитель: без перевода, пересчёта и сравнения.
- 対応ワークサイズ
- 300 mm (、200mm、150mm、四角基板など)
- 分解能
- 0.000343 deg (/パルス)
- 対応ワークサイズ
- 450 mm (、300mm、200mm、150mm、四角基板など)
- 繰り返し精度
- ±0.05 mm
- 繰り返し精度
- ±0.02 deg (※カメラを使用した300mmウエハノッチ位置決めの参考値)
Источники
- PLVS
страница товара; от производителя; издатель: RORZE Corporation; редакция: 2026-10-02
Где в источнике: 可搬重量; 対応ワークサイズ; 分解能; 繰り返し精度