RoboMap
Характеристики
- Грузоподъёмность
- нет данных
- Вылет
- нет данных
- Повторяемость позиционирования
- нет данных
- Масса
- нет данных
- Степень защиты
- нет данных
Характеристики из источника
Строки приведены так, как их печатает производитель: без перевода, пересчёта и сравнения.
- 消費電流
- 25 kVA ((75A/200VAC) FFUを含む)
- N2（流量）
- 600 L (/min)
- キャリア
- 300 mm (FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31))
- 消費電流
- 10 kVA ((30A/200VAC) FFUを含む)
- 正圧（流量）
- 40 L (/min)
- 正圧（元圧）
- 0.6 MPa (～0.7MPa)
- N2（流量）
- 300 L (/min)
- 真空（流量）
- 60 L (/min)
- N2（流量）
- 1200 L (/min)
- 真空（元圧）
- -80 kPa (～-90kPa)
- 正圧（流量）
- 30 L (/min)
- N2 (元圧)
- 0.4 MPa (～0.5MPa)
Источники
- N2-BWS
страница товара; от производителя; издатель: RORZE Corporation; редакция: 2026-10-02
Где в источнике: 消費電流; N2（流量）; キャリア; 正圧（流量）; 正圧（元圧）; 真空（流量）; 真空（元圧）; N2 (元圧)