ACE EFEM

Характеристики

Грузоподъёмность

нет данных

Вылет

нет данных

Повторяемость позиционирования

нет данных

Масса

нет данных

Степень защиты

нет данных

Характеристики из источника

Строки приведены так, как их печатает производитель: без перевода, пересчёта и сравнения.

Vacuum (flow rate)

40 L (/min)

источник 1

Vacuum (flow rate)

50 L (/min)

источник 1

真空（流量）

40 L (/min)

источник 2

真空（元圧）

-80 kPa (～-90kPa)

источник 2

消費電流

4 kVA ((20A/200VAC) FFUを含む)

источник 2

真空（流量）

50 L (/min)

источник 2

正圧（流量）

30 L (/min)

источник 2

Positive pressure (source pressure)

0.6 MPa (～0.7MPa)

источник 1

Positive pressure (flow rate)

20 L (/min)

источник 1

正圧（流量）

20 L (/min)

источник 2

バキューム保持タイプ、エッジクランプタイプに対応（オプション）

200 mm (/300mm兼用可能（オプション）)

источник 2

Current consumption

4 kVA ((20A/200V AC) Including FFU)

источник 1

正圧（元圧）

0.6 MPa (～0.7MPa)

источник 2

キャリア

300 mm (FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31))

источник 2

Vacuum (source pressure)

-80 kPa (～-90kPa)

источник 1

Positive pressure (flow rate)

30 L (/min)

источник 1

Источники

1. ACE EFEM

   страница товара; от производителя; издатель: RORZE Corporation; редакция: 2026-10-02

   Где в источнике: Vacuum (flow rate); Positive pressure (source pressure); Positive pressure (flow rate); Current consumption; Vacuum (source pressure)

2. ACE EFEM

   страница товара; от производителя; издатель: RORZE Corporation; редакция: 2026-10-02

   Где в источнике: 真空（流量）; 真空（元圧）; 消費電流; 正圧（流量）; バキューム保持タイプ、エッジクランプタイプに対応（オプション）; 正圧（元圧）; キャリア