Характеристики
- Грузоподъёмность
- нет данных
- Вылет
- нет данных
- Повторяемость позиционирования
- нет данных
- Масса
- нет данных
- Степень защиты
- нет данных
Характеристики из источника
Строки приведены так, как их печатает производитель: без перевода, пересчёта и сравнения.
- 対応ウェーハ径
- 150 mm (、200mm)
Источники
- コンダクターエッチング装置 M-600/6000シリーズ
страница товара; от производителя; издатель: Hitachi High-Tech Corporation; редакция: 2026-10-03
Где в источнике: 対応ウェーハ径