PECVD

Характеристики

Грузоподъёмность

нет данных

Вылет

нет данных

Повторяемость позиционирования

нет данных

Масса

нет данных

Степень защиты

нет данных

Характеристики из источника

Строки приведены так, как их печатает производитель: без перевода, пересчёта и сравнения.

Operating Temperature Range

100~600℃

источник 1

Batch Loading Capacity

768pcs/batch(182mm),616pcs/batch (210mm),500pcs/batch (230mm)

источник 1

UP-TIME

≥98%

источник 1

Single-point Temperature Stability

<±1°C/4h(500°C)

источник 1

Cooling Mode

Latest patented technology, 9-zone segmented active cooling furnace body

источник 1

Constant Temperature Zone Accuracy & Length

±2°C/3200mm(500°C)

источник 1

Heating Time

RT→450℃≤45min

источник 1

Temperature Control

9-point temperature control, dual-mode internal/external control

источник 1

Alumina Film Thickness Uniformity

Intra-wafer≤6% Inter-wafer≤6% Inter-batch≤5% (182mm wafers)

источник 1

Alumina Refractive Index

1.65(±0.05)

источник 1

Источники

1. Cookies Consent

   страница товара; от производителя; издатель: Han's Laser; редакция: 2026-10-02

   Где в источнике: Operating Temperature Range; Batch Loading Capacity; UP-TIME; Single-point Temperature Stability; Cooling Mode; Constant Temperature Zone Accuracy & Length; Heating Time; Temperature Control; Alumina Film Thickness Uniformity; Alumina Refractive Index