HALO Series Two-in-One PECVD

Характеристики

Грузоподъёмность

нет данных

Вылет

нет данных

Повторяемость позиционирования

нет данных

Масса

нет данных

Степень защиты

нет данных

Характеристики из источника

Строки приведены так, как их печатает производитель: без перевода, пересчёта и сравнения.

Al₂O₃ Refractive Index

1.65(±0.05)

источник 1

UP-TIME

≥98%

источник 1

Temperature Control

9‑point temperature control, dual internal‑external mode control

источник 1

Loading Capacity

768 pcs/batch (182mm),616 pcs/batch (210mm),500 pcs/batch (230mm)

источник 1

Constant‑temperature Zone Accuracy & Length

±2°C/3200mm(500°C)

источник 1

Al₂O₃ Film‑thickness Uniformity

Within‑wafer≤6% Wafer‑to‑wafer≤6% Batch‑to‑batch≤5% (for 182 mm wafers)

источник 1

Heating‑up Time

RT→450℃≤45min

источник 1

Single‑point Temperature Stability

<±1°C/4h(500°C)

источник 1

Operating Temperature Range

100~600℃

источник 1

Источники

1. HALO Series Two‑in‑One PECVD

   страница товара; от производителя; издатель: Han's Laser; редакция: 2026-10-02

   Где в источнике: Al₂O₃ Refractive Index; UP-TIME; Temperature Control; Loading Capacity; Constant‑temperature Zone Accuracy & Length; Al₂O₃ Film‑thickness Uniformity; Heating‑up Time; Single‑point Temperature Stability; Operating Temperature Range