EG-303

Характеристики

Грузоподъёмность

нет данных

Вылет

нет данных

Повторяемость позиционирования

нет данных

Масса

нет данных

Степень защиты

нет данных

Характеристики из источника

Строки приведены так, как их печатает производитель: без перевода, пересчёта и сравнения.

XY

±0.05 mm (θ: ±0.075°)

источник 1

Environment Humidity

70% or less (No condensation)

источник 2

Alignment Time High Accuracy Mode

Average 7.5sec.

источник 2

Alignment Time Normal Mode

Average 3.5sec.

источник 2

Repeatability High Accuracy Mode

XY: ±0.05mm θ: ±0.075°

источник 2

Environment Temperature

0-40°C

источник 2

XY

±0.2 mm (θ: ±0.1°)

источник 1

湿度 Humidity

70 % (or less (No condensation))

источник 1

Cleanliness

ISO Class 3 (ISO-14644)

источник 2

本体質量 Mass

7 kg

источник 1

温度 Temperature

0-40 ℃

источник 1

適用ウエハサイズ Applicable Wafer Size

300 mm

источник 1

Repeatability Normal Mode

XY: ±0.2mm θ: ±0.1°

источник 2

Mass

7kg

источник 2

電源 Power

24 VDC (3A)

источник 1

Applicable Wafer Size

300mm

источник 2

Facilities Power

24 VDC 3A

источник 2

Источники

1. ウエハアライナ EG-303

   страница товара; от производителя; издатель: Daihen; редакция: 2026-10-02

   Где в источнике: XY; 湿度 Humidity; 本体質量 Mass; 温度 Temperature; 適用ウエハサイズ Applicable Wafer Size; 電源 Power

2. Wafer Aligner EG-303 series

   страница товара; от производителя; издатель: Daihen; редакция: 2026-10-02

   Где в источнике: Environment Humidity; Alignment Time High Accuracy Mode; Alignment Time Normal Mode; Repeatability High Accuracy Mode; Environment Temperature; Cleanliness; Repeatability Normal Mode; Mass; Applicable Wafer Size; Facilities Power