UVtransfer

Характеристики

Грузоподъёмность

нет данных

Вылет

нет данных

Повторяемость позиционирования

нет данных

Масса

нет данных

Степень защиты

нет данных

Характеристики из источника

Строки приведены так, как их печатает производитель: без перевода, пересчёта и сравнения.

Laser Protection Class (according to EN60825-1:2015)

Laser Protection Class 1

источник 1

x-y stage repeatability (bidirectional) (µm)

±0.5

источник 1

MAX. OUTPUT POWER

3600 W

источник 2

LIFT and Repair System

Fully automated system for 24/7 usage in an industrial environment

источник 2

Handling System

Fixation by vacuum chuck to cover 4” or 6” wafer

источник 1

Dimensions (W x L x H)

Approx. 1.365 x 4.05 x 2.05 m3

источник 1

Laser

Coherent deep UV laser 248 nm

источник 2

x-y stage accuracy (µm)

±2.5

источник 1

Laser Protection Class

CLASS IV LASER RADIATION PRODUCT PER EN/IEC 60825-1: 2014

источник 2

Dimension

Up to 370 x 470 mm² (GEN 2 Substrate)

источник 1

MicroLED

Size down to 5 μm, street width down to 5 μm

источник 1

Dimensions

4” to 8” round of square (customization possible)

источник 2

Energy Density

Up to 1200 mJ/cm² for direct transfer from Epi Wafer

источник 2

Optical Field Size on Wafer (mm2)

8x1

источник 1

Field Size

LIFT System: 28x1 mm

источник 2

Dimension

Min. 4” to max. 6” round wafer

источник 1

Handling System

Fixation by vacuum to cover 4” or 6” wafer with active area

источник 1

Energy Density on Substrate (mJ/cm2)

up to 1200 (optional 300 at 16 x 2 mm2)

источник 1

Temperature Control

Temperature stabilization ±0.3 K

источник 2

Optical Field Size on Wafer (mm2)

8 x 1 mm2; (optional 16 x 2 mm2)

источник 1

Dimensions (W x L x H)

Approx. 3000 x 8000 x 3300 mm³

источник 2

Energy Density on Substrate (mJ/cm2)

up to 1200

источник 1

x-y stage velocity (mm/sec)

≤50

источник 1

Dimension

Min. 4” to max. 6” round or square wafer

источник 1

Источники

1. UVtransfer

   технический лист; от производителя; издатель: Coherent; редакция: 2026-10-02

   Где в источнике: Laser Protection Class (according to EN60825-1:2015); x-y stage repeatability (bidirectional) (µm); Handling System; Dimensions (W x L x H); x-y stage accuracy (µm); Dimension; MicroLED; Optical Field Size on Wafer (mm2); Energy Density on Substrate (mJ/cm2); x-y stage velocity (mm/sec)

2. UVtransfer

   технический лист; от производителя; издатель: Coherent; редакция: 2026-10-02

   Где в источнике: MAX. OUTPUT POWER; LIFT and Repair System; Laser; Laser Protection Class; Dimensions; Energy Density; Field Size; Temperature Control; Dimensions (W x L x H)